薛曜為元超長子，褚遂良乃其舅祖，生平事跡，史記不詳。可知者為王勃文友，咸亨初年曾與之游于四川錦州，王勃有送別詩二首記其事。萬歲登封年間(696)見任春宮郎中(禮部郎中)，神功年間(697)改正議大夫，與再從弟中書舍人薛稷并以辭學知名朝野。圣歷二年(699)為奉宸大夫，與天下名士李嶠、員半千、閻朝隱、沈儉期、徐堅、張說、劉知幾、宋之問、富嘉謨等二十六人共撰《三教珠英》，凡 1300卷。久視元年(700)五月十五日侍從武則天游幸登封石淙山，應制《奉和圣制夏日游石淙山詩》，并奉敕正書武后與諸侍從大臣的唱和詩。其后行蹤無考，或即卒于長安末年(703—704)。河南登封所立《封祀壇碑》，遒密有致，為其代表作。

薛曜與薛稷同一師承，書學褚遂良，瘦硬有神,用筆細勁,結體疏朗，但較褚書險勁，更纖細，在當時享有大名，被后人評為“宋徽宗瘦金體之祖”（趙佶真書學薛曜，自創“瘦金體”）。他對褚書不作亦步亦趨的模仿，而是加以發揮，有所創造，然亦成習氣，為褚書末流。 作品欣賞：《夏日游石淙詩并序》

《夏日游石淙詩并序》是薛曜的代表作，為“石淙河摩崖題記”之一。“石淙河摩崖題記”，唐久視元年（700年）三月十九日刻。高3.7米，寬3.7米，楷書，39行，行42字，為河南省最大的摩崖碑刻，分為《夏日游石淙詩并序》和《秋日宴石淙序》兩部分。唐大周圣歷三年（700年）夏季，武后則天率群臣巡游中岳嵩山，登封峻極后，避暑石淙河，曾在水漂石上大宴群臣。武則天即興作詩一首《夏日游石淙》，命從臣16人奉和詩名為《侍游應制》，武則天又作序《夏日游石淙詩并序》，命薛曜書寫，讓工匠刻于崖壁上。16位從臣是：李顯、李旦、武三思、狄仁杰、張易之、張宗昌、李嶠、勞味道、姚元崇、閻朝隱、崔融、薛曜、徐彥伯、楊敬述、于季子和沈佺期。武則天在此宴請群臣一事，兩唐書武后本紀失載，此碑可補其闕。詩作已收入《全唐詩》，刻本文字稍異，以碑刻為是。《秋日宴石淙序》，張易之撰文。內容主要描繪石淙河的山水景物。二者的書者皆為薛曜，其書法瘦勁奇偉， 被歷代書家稱為“宋徽宗瘦金體之祖”，存世作品極少，因而十分珍貴。

清人葉昌熾《語石》有評“ 觀《石淙序》，其轉折之處運筆太重，如黛干霜皮，礧砢多節，又如側出之水竹箭，奔騰至千里，一曲之處，忽搏而過顙，不免捉衿肘見矣。余謂必欲學曜書，尚不如《封祀壇銘》，不失河南三龕矩鑊。”

有弟二人：薛毅官至太子舍人，薛俊官至慈州刺史。

特別重要的是，不管是按照西安碑林的資料顯示，還是按照薛瓘，薛曜，薛紹三人的經歷判斷，都可以確定薛瓘，薛曜不可能是同一人。薛瓘是薛曜的叔伯父、薛元超的堂兄弟。也就是說薛曜與薛稷，薛顗，薛紹等人的堂兄弟。